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2019-12-17
费勉仪器（FERMI INSTRUMENTS）目前已成功开发出针对复杂真空系统碳污染原位清除的新一代远程等离子清洗源。 低压气体受外界能量激发产生等离子体，包括电子、离子、中性原子或基团等不同成分，依靠活性粒子的“活化作用”与物体表面进行物理轰击和化学反应双重作用，将
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